顯微鏡同軸光可以分內同軸和外同軸：內同軸是指光束通過物鏡內的鏡片落射到被觀測物體上，外同軸是指圍繞在物鏡外側的一圈光束，落射到被觀測物體上。通常內同軸是點光，外同軸是環型光。同軸光的主要特點是光照角度和光學成相角度小，光線反射就小，觀察物體也就更清晰，通常同軸光主要運用在透明觀測物體上面，比如（晶元、LCD液晶屏幕、CCD鏡頭）我們使用常規的側光源照明是不能看到透明物體上的劃痕還有污點，因為側光的反光角度不在成相角度上，所以很難分辨劃痕或者污點。外同軸光也會多少存在這個問題，因為它的角度和成相角度也不是吻合的，最好的解決方法就是內同軸光，可以清晰的分辨出劃痕還有污點。